無塵室(clean room)等級
無塵室的等級表示法：
class 100: 每立方呎內大於0.5μm之粉塵數少於100顆class 1000 :每立方呎內大於0.5μm之粉塵數少於1000顆
class 10000：每立方呎內大於0.5μm之粉塵數少於10000顆
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