RMS roughness, 均方根粗糙度

RMS roughness 是 Root Mean Square roughness的縮寫﹐也有記作R_q的用法﹐是目前常用的表面粗糙度的量測指標之一。

理論上﹐RMS roughness 的量測﹐需要等距離量測若干點的粗糙高度（相對於基準高度）﹐然後將這些高度平方和的平均值開發﹐就得到RMS roughness, 實際上目前量測粗糙度的儀器都可以直接讀出RMS roughness值。